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第94章 科研人员的震惊【第三更】

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“那就先按这个安排来吧,如果过程中有不适合的地方再进行调整。”

郝耀平作为行业中的老人,心里肯定是希望看到年轻后辈中能有不错的天才出现,毕竟未来行业的发展他们才是主心骨。  所以尽管对徐磊负责激光器的研发有些担忧,但看到徐磊流露出的那份自信。  最终还是表示同意。  想着等徐磊亲自上手体验到其中的困难后再增加人员也不迟。  正所谓玉不琢不成器,经历点打击挫折,往往能让一个人更快成长起来。  反正郝耀平是这样考虑的。  而有了郝耀平发话,其他项目研发人员自然不会有什么异议,很快便投入到各自的工作岗位上。  因为这些人中,不少都经历过光刻机相关技术的研究,加上徐磊给他们分配的工作又和自身专业相符合,所以没花费多长时间就彻底进入状态。  并没有出现项目开始初期的混乱情况。  至于徐磊对此倒是非常满意。  起码让他轻松不少。  待其他人离开后,他也带着自己安排的两位助手前往光源实验室。  ——  马从明和胡兴今年都是三十出头,可以说基本是除徐磊之外,此次光刻机项目研发人员中年龄最小的两个存在,并且还仅是普通的科研人员。  和郝耀平这种院士完全无法相比。  以至于在看到他们在看到自己被徐磊挑中负责激光器的研发后,心里多少是有些虚的。  尽管他们从事的专业的确和此领域相关,但也很清楚想制造出可以发射波长较短的紫外光源的激光器难度究竟有多大,关键如此重要的核心部件居然就他们三个人负责。  就算院士也没这份底气啊!  只怕很难有所进展。  若到时候激光器的研发速度跟不上其它部件,那可就比较丢人了。  于是出于这种忧虑,待几人进入光源实验室关上门后,便主动提醒了两句。  “徐工。”

“光源系统包含多个子部件。”

“更要考虑发射光源的波长功率转化率以及使用寿命等情况。”

“以我们现在拥有的技术水准,想要研制出能满足顶级光刻机需求的光源,这实在是太难了。”

随着马从明率先讲出自己的观点,旁边的胡兴也连忙接过话茬附和道:“想证明自己的实力这是很正常的事情,但我觉得还是要稳重些,你说呢徐工?”

对于这两人话语中想表达的意思,徐磊是心知肚明。  总结来说,就是认为他不足以研发出顶级光刻机需要的光源,应该增加科研人员的数量稳健着来。  徐磊让他们两个来当自己的助手,就是看重对方年龄在所有研发人员中最小。  在华科院受到的工作方式影响还不深。  这样他们面对吩咐时只会努力去做,而不是拿自己掌握的技术知识提出质疑,否则势必会影响到研发进度。  毕竟徐磊要做的是争取在短时间内制造出可以生产1纳米芯片的顶级光刻机,可不是在工作时还要当老师解答其他人的问题。  所以马从明和胡兴对此感到奇怪很正常。  想获得波长较短的极紫外光源,要采用的办法是将二氧化碳高功率激光脉冲照射在直径极小的锡滴液靶材上,激发出高功率的等离子体,来作为光刻机的光源。  整个光源系统需要高功率激光器,聚焦和位置控制的真空容器,液滴发生器收集器和计量模块等装置。  其中最关键的技术就是预脉冲,和在高频下产生极小且稳定的锡液滴。  再加上关乎光源装置使用寿命的收集器,难度确实让人无法想象。  可对于已经掌握了全部核心技术的徐磊来讲,想要制造出能够满足这些要求的装置,并不是什么太困难的问题。  面对这种情况,增加科研人员的数量显然是不可能的。  不过为了让他们两个人安心配合自己的工作,最终徐磊还是多说了几句。  “你们担心的问题我都清楚,但我既然敢做出这种人员安排,肯定是有原因在的。”

“相信我。”

“用不了多长时间,你们就会看到成熟的极紫外光源发射系统。”

话音刚落。  徐磊便转身朝工作台走去,显然不想在这个问题上再多费口舌。  听到这番话,马从明和胡兴两人先是相互看了一眼,然后和徐磊一样径直走向工作台。  因为他们虽然担心在光源上的研发会赶不上其他人的进度,可也不想被调离研发项目,毕竟徐磊不管怎么说都是项目的负责人,有权利对开发人员的增减调动做出调整。  反正在他们看来,等到徐磊在光源系统上的研究陷入瓶颈,肯定会主动改变。  ……  相比之前处理公司上的业务,沉下心来进行技术研究,徐磊明显感觉到时间流逝的速度似乎更快。  转眼便过去了十多天。  而在这些天里,徐磊在马从明胡兴两个人的辅助下,终于完成了激光器的组装。  虽说这只是整个光源系统中的其中一件装置,但代表的意义却不一样。  标志着他们成功迈出了第一步。  但要想将激光器应用到光源系统中,还需要先对其功率波长以及寿命进行测试,确保它能够满足顶级光刻机的需求。  “徐工,激光器已经准备妥当,可以开始测试了。”

这天上午。  光源实验室内。  当马从明把这台激光器安装调试完毕后,立刻开口对徐磊进行汇报。  言语中能够听出略显激动的情绪。  主要组装这台激光器他们也多少出了份力,虽然不太相信测试数据能达到海外水平,但身为科研人员在这种时候总是难以控制心底的那份兴奋。  当然。  相比他们两个人,徐磊明显平静许多。  看到马从明已经准备妥当,随即下达了开始测试的命令。  “开始吧。”

说完还不忘对胡兴吩咐道:“胡兴,注意做好各项数据分析。”

“放心吧徐工。”

闻声胡兴连忙保证,并集中注意力目不转睛盯着电脑屏幕。  几乎是在徐磊声音响起的瞬间,马从明顿时启动激光器发射出激光,并准确击中掉落的锡滴液,激发出高功率的等离子体。  同时各项数据也会通过传感器直接传输到电脑之中进行分析测算。  由于测试还包括激光器的寿命问题,所以中间需要花费的时间肯定不会太短,直到实验室内响起胡兴那惊喜的声音,两人这才回过神来立即投过去询问的目光。  “数据怎么样?”

“徐工研制的这台激光器,不但功率远超海外高端光刻机的标准,光源波长也非常短,这是详细数据你自己看吧。”

胡兴听到马从明的话,声音微微有些颤抖的简单讲了这么两句后,直接便把打印出来的数据文件递给对方。  马从明接过文件自然是不敢迟疑,连忙垂下视线仔细查看起来。  待看清楚上面标注的各项测试结果后,再也压抑不住心中的激动震惊,其瞳孔更是不亚于发生了一场很大的地震。  直到这个时候他才总算明白,为什么徐磊面对如此重要的光源系统,却只找了他们两个人担任助手。  尤其想到之前自己对徐磊产生的质疑,更是觉得羞愧不已。  但同时也坚信这次他们肯定能够研制出顶级的国产光刻机。  大约顿了十多秒钟的时间,这才见他迈步向徐磊走去,把数据文件递过去的同时沉声讲道:“徐工,我是真没有想到你在此领域也有这么深的研究,请原谅先前我对你的质疑。”

“这台激光器能达到这种效果,应该可以使用到光源系统中了吧?”

看到这一幕,胡兴也顿时满脸期待的问道。  可徐磊从马从明手中接过数据文件看了一眼后,却摇了摇头表示道:“暂时还不行,这只是我们制造出来的第一代激光器,仍需要进行多方面的优化调试才能真正投入使用。”

按照这次测试的数据来看,虽然超过了海外高端光刻机使用的激光器,但最多生产5纳米规格的芯片。  距离徐磊要求的物理极限尚有段距离,还需多次优化调试才行。  另外马从明想说什么,他用脚指头想想也基本都能猜到,所以就没必要在这里浪费时间。  “行了,接下来我们的任务很重,有什么话就自己放心里吧。”

“是徐工。”

两人都明白徐磊这话的意思,在异口同声回复了这么一句后,立刻重新投入到工作中。  而此刻的积极性相比前几天绝对翻了几倍。  毕竟在真正了解到徐磊的水平后,他们很清楚担任其助手会对自身有多大提升。  值得一提的是,徐磊在激光器上面取得的成绩也很快传到了每位项目研发人员耳朵中,几乎是让所有人都心惊不已。  就连郝耀平也不得不发自内心称赞句天才。  以至于在接下来的日子中,大家只要是在技术研发上遇到问题,就会跑过去向徐磊请教。  使得徐磊看似暂时只负责光刻机的光源,实际上各个部件都有他的身影。  无形中大幅度提升了国产顶级光刻机的研发进度。  不过就在华科院这边热火朝天攻克顶级光刻机技术的时候,盛华顿洲内布莱迪却急匆匆前往麦克所在的地方。

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